[实用新型]多弧离子真空镀膜机

摘要

本实用新型公开了一种多弧离子真空镀膜机，包括腔室、抽真空系统和多弧靶组件，腔室内设有旋转架组件，旋转架组件上安装有工作台，旋转架组件用于带动工作台在腔室内转动，工作台用于安装工件；抽真空系统与腔室连接；多弧靶组件包括若干个阴极多弧靶座，每个阴极多弧靶座上设有永磁铁，每个阴极多弧靶座的内端通过直管磁场叠加装置与腔室密封连接，且阴极多弧靶座的内端连接有套设于直管磁场叠加装置内的靶材座，靶材座用于安装靶材，每个阴极多弧靶座上均设有引弧装置，引弧装置的引弧针能够接触靶材，直管磁场叠加装置能够在靶材所在空间产生变化磁场。该多弧离子真空镀膜机，能有效过滤掉涂层中的大颗粒，使涂层致密光亮，性能优良。

主权项

1.一种多弧离子真空镀膜机，其特征在于：包括：腔室，所述腔室内设有旋转架组件，所述旋转架组件上安装有工作台，所述旋转架组件用于带动所述工作台在所述腔室内转动，所述工作台用于安装工件；抽真空系统，所述抽真空系统与所述腔室连接；以及多弧靶组件，所述多弧靶组件包括若干个阴极多弧靶座，每个所述阴极多弧靶座上设有一永磁铁，每个所述阴极多弧靶座的内端通过一直管磁场叠加装置与所述腔室密封连接，且所述阴极多弧靶座的内端连接有套设于所述直管磁场叠加装置内的靶材座，所述靶材座用于安装靶材，每个所述阴极多弧靶座上均设有一引弧装置，所述引弧装置的引弧针能够接触靶材，所述直管磁场叠加装置能够在靶材所在空间产生变化磁场。