[实用新型]一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置有效
| 申请号： | 201721712564.3 | 申请日： | 2017-12-11 |
| 公开（公告）号： | CN207634655U | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 黄昌盛;徐美婷;楼允洪 | 申请（专利权）人： | 杭州维科磁电技术有限公司 |
| 主分类号： | F16H57/029 | 分类号： | F16H57/029;F16H57/04;F16H57/023;F16H57/02 |
| 代理公司： | 杭州浙科专利事务所(普通合伙) 33213 | 代理人： | 吴秉中 |
| 地址： | 310012 浙江省杭州市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，包括传动轴及壳体，传动轴位于壳体内的部分上安装有两个深沟球轴承，该深沟球轴承与传动轴构成稳定的传动系统，壳体位于真空侧一端的端面上设置有端面氟胶O型密封圈，壳体内设置有磁流体密封装置，传动轴大气侧连接设置有水介质旋转器，水介质旋转器与传动轴之间形成水冷循环系统，壳体上还设置有NPT卡套水接头。本实用新型水冷循环系统的设置，可有效的降低传动轴温度，确保传动轴正常工作，金属密封圈的设置，提高密封效果，ISO标准法兰的设置，便于装卸，提高工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 传动轴 壳体 磁流体密封传动装置 水冷循环系统 本实用新型 深沟球轴承 多腔室 水介质 旋转器 体内 磁流体密封装置 金属密封圈 传动系统 工作效率 密封效果 侧连接 水接头 法兰 氟胶 卡套 装卸 | ||
【主权项】：
1.一种用于多腔室PECVD设备的磁流体密封传动装置，包括传动轴（1）及套接设置在传动轴（1）上的壳体（2），所述传动轴（1）为一根细长轴，从大气端穿过PECVD设备腔室侧壁进入腔室内部，大气端连接电机和同步带轮，真空端连接传动轮，传动轴（1）位于壳体（2）内的部分上安装有两个深沟球轴承（3），该深沟球轴承（3）与传动轴（1）构成稳定的传动系统，壳体（2）位于真空侧一端的端面上设置有端面氟胶O型密封圈（4），其特征在于所述壳体（2）内设置有磁流体密封装置，所述传动轴（1）大气侧连接设置有水介质旋转器（5），所述水介质旋转器（5）与传动轴（1）之间形成水冷循环系统，所述壳体（2）上还设置有NPT卡套水接头（6）。
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