[实用新型]一种固晶机的邦头改进结构有效
| 申请号： | 201721717404.8 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN207834259U | 公开（公告）日： | 2018-09-07 |
| 发明（设计）人： | 徐大林;宋宝 | 申请（专利权）人： | 深圳市佳思特光电设备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L33/48 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 罗晓林;杨桂洋 |
| 地址： | 518116 广东省深圳市龙岗区*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种固晶机的邦头改进结构，包括驱动装置和摆臂机构，所述驱动装置包括Z轴电机和旋转电机，Z轴电机装在Z轴安装座上，Z轴的电机轴通过轴承装接有偏心轴，偏心轴上装接有连杆，连杆装接有Z轴连接块，旋转电机的电机轴装接有旋转轴，旋转轴上设有摆臂导轨，该摆臂导轨上卡装有摆臂连接块，摆臂连接块通过固定轴与Z轴连接块转动连接并通过螺母锁紧，摆臂机构与摆臂连接块固定连接，旋转电机带动摆臂机构180度范围摆动。本实用新型采用柔性摆臂结构，可以调节摆臂压力，提高摆臂柔性，固晶机的邦头改进结构的设计，能够在有效地减少邦头区体积、优化各部件之间布局的同时提高固晶速度。 | ||
| 搜索关键词： | 摆臂 摆臂机构 改进结构 旋转电机 固晶机 装接 摆臂导轨 驱动装置 电机轴 偏心轴 旋转轴 本实用新型 有效地减少 柔性摆臂 转动连接 安装座 固定轴 螺母锁 摆动 固晶 上卡 轴承 优化 | ||
【主权项】：
1.一种固晶机的邦头改进结构，包括驱动装置和摆臂机构，其特征在于，所述驱动装置包括Z轴电机和旋转电机，Z轴电机装在Z轴安装座上，Z轴的电机轴通过轴承装接有偏心轴，偏心轴上装接有连杆，连杆装接有Z轴连接块，旋转电机的电机轴装接有旋转轴，旋转轴上设有摆臂导轨，该摆臂导轨上卡装有摆臂连接块，摆臂连接块通过固定轴与Z轴连接块转动连接并通过螺母锁紧，摆臂机构与摆臂连接块固定连接，旋转电机带动摆臂机构180度范围摆动。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于深圳市佳思特光电设备有限公司，未经深圳市佳思特光电设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721717404.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种新型抗腐蚀真空液体收集器
- 下一篇：一种等离子激活反应腔室及晶圆键合机台
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
