[实用新型]一种针对卷材的真空等离子设备有效
| 申请号： | 201721721418.7 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN207624653U | 公开（公告）日： | 2018-07-17 |
| 发明（设计）人： | 张斌 | 申请（专利权）人： | 昆山国华电子科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 215300 江苏省苏州*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提出了一种针对卷材的真空等离子设备，包括真空腔体，所述真空腔体内设有电极组和卷材输送装置；所述电极组包括外框，所述外框内设有竖直排列的若干电极板，所述电极板之间的外框上设有通孔；所述外框侧边通过铰链连接有进气门，所述进气门上连接有进气管，本设备专门针对卷性材料的真空等离子设备，将有效的收卷、放卷功能集成到真空腔体内，能够成功的将收卷放卷功能增加到真空等离子的腔体内，并确保收放的松紧度合适，整齐度良好，等离子处理效果良好。 | ||
| 搜索关键词： | 真空等离子 外框 体内 电极板 电极组 真空腔 放卷 卷材 收卷 卷材输送装置 本实用新型 等离子处理 功能集成 功能增加 铰链连接 竖直排列 外框侧边 真空腔体 进气管 进气门 松紧度 整齐度 进气 收放 通孔 成功 | ||
【主权项】：
1.一种针对卷材的真空等离子设备，其特征在于，包括真空腔体，所述真空腔体内设有电极组和卷材输送装置；所述电极组包括外框，所述外框内设有竖直排列的若干电极板，所述电极板之间的外框上设有通孔；所述外框侧边通过铰链连接有进气门，所述进气门上连接有进气管；所述卷材输送装置包括放线辊、收线辊、若干导向辊和纠偏装置，所述放线辊和收线辊上分别连接有伺服电机；所述通孔处分别设有所述导向辊。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于昆山国华电子科技有限公司，未经昆山国华电子科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721721418.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种真空等离子机的快速插拔电极
- 下一篇：一种格栅式电极板等离子处理真空腔
