[实用新型]基于双测试室气路转换的材料放气率测量装置有效
| 申请号： | 201721741003.6 | 申请日： | 2017-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN207610952U | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 杨庆喜;李雪军;宋云涛;陈永华;陈根 | 申请（专利权）人： | 合肥中科离子医学技术装备有限公司 |
| 主分类号： | G01N7/14 | 分类号： | G01N7/14 |
| 代理公司： | 北京和信华成知识产权代理事务所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 胡剑辉 |
| 地址： | 230088 安徽省合肥市*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于双测试室气路转换的材料放气率测量装置，包括样品室，样品室两侧设有第一测试室和第二测试室，第一测试室和第二测试室分别通过第一通孔和第二通孔与样品室相连通，第一测试室连接第一真空规管，样品室连接第二真空规管，第二测试室连接第三真空规管，第一测试室通过角阀连接分子泵和机械泵，第一测试室通过第一插板阀连接离子泵，第二测试室通过第二插板阀连接离子泵；本实用新型采用双测试室对称气路转换结构，在测量待测材料样品的放气率时，仅需读取同一真空规管显示的真空度数值进行计算，有效避免了不同真空规管测量过程中产生的误差，测量精度高，不确定度小，且延伸了测量下限，测量范围宽。 | ||
| 搜索关键词： | 测试室 真空规管 样品室 气路转换 双测试室 本实用新型 材料放气 测量 插板阀 离子泵 率测量 通孔 测量精度高 读取 不确定度 测量过程 待测材料 连接分子 放气率 机械泵 角阀 对称 延伸 | ||
【主权项】：
1.基于双测试室气路转换的材料放气率测量装置，包括样品室(1)，其特征在于，所述样品室(1)两侧分别设有第一测试室(2)和第二测试室(3)，所述第一测试室(2)通过第一通孔(21)与样品室(1)相连通，所述第二测试室(3)通过第二通孔(31)与样品室(1)相连通；所述第一测试室(2)连接第一真空规管(41)，所述样品室(1)连接第二真空规管(42)，所述第二测试室(3)连接第三真空规管(43)；所述第一测试室(2)通过角阀(5)连接分子泵(6)，所述分子泵(6)连接机械泵(7)；所述第一测试室(2)和第二测试室(3)均连接离子泵(8)，所述第一测试室(2)与离子泵(8)之间设有第一插板阀(91)，所述第二测试室(3)与离子泵(8)之间设有第二插板阀(92)。
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