[实用新型]一种蒸镀载板及蒸镀装置有效
申请号: | 201721763249.3 | 申请日: | 2017-12-15 |
公开(公告)号: | CN207581924U | 公开(公告)日: | 2018-07-06 |
发明(设计)人: | 刘肖楠;宋锐男;于森;宋裕斌;谢飞;李坡;吕冲;曾义红;唐富强;靳福江;安成国 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;成都京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50;C23C14/24;C23C14/12 |
代理公司: | 北京中博世达专利商标代理有限公司 11274 | 代理人: | 申健 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型实施例提供一种蒸镀载板及蒸镀装置,用于蒸镀技术领域,解决了待蒸镀基板在点亮时出现白点异常的问题。该蒸镀载板用于承载待蒸镀基板,所述待蒸镀基板包括多个子蒸镀基板,所述蒸镀载板包括:底板和设置在所述底板上多个分离设置的支撑块,一个所述支撑块对应一个所述子蒸镀基板,所述支撑块在所述待蒸镀基板上的正投影与所述支撑块对应的所述子蒸镀基板的显示区域重叠,且重叠面积大于所述显示区域面积的1/3,小于所述子蒸镀基板的面积;其中,所述支撑块用于与所述待蒸镀基板接触的表面为平面或者为向远离所述底板一侧凸起的弧面。用于蒸镀工序中。 | ||
搜索关键词: | 蒸镀基板 蒸镀 载板 底板 支撑 显示区域 蒸镀装置 本实用新型 分离设置 白点 正投影 点亮 弧面 凸起 承载 | ||
【主权项】:
1.一种蒸镀载板,用于承载待蒸镀基板,所述待蒸镀基板包括多个子蒸镀基板,其特征在于,所述蒸镀载板包括:底板和设置在所述底板上多个分离设置的支撑块,一个所述支撑块对应一个所述子蒸镀基板,所述支撑块在所述待蒸镀基板上的正投影与所述支撑块对应的所述子蒸镀基板的显示区域重叠,且重叠面积大于所述显示区域面积的1/3,小于所述子蒸镀基板的面积;其中,所述支撑块用于与所述待蒸镀基板接触的表面为平面或者为向远离所述底板一侧凸起的弧面。
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