[实用新型]游星轮组件及其抛光装置有效
| 申请号： | 201721773581.8 | 申请日： | 2017-12-18 |
| 公开（公告）号： | CN207757439U | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 冯光建;夏秋良 | 申请（专利权）人： | 苏州新美光纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/34 | 分类号： | B24B37/34 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 周宇 |
| 地址： | 215000 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种游星轮组件及其抛光装置，涉及半导体技术领域，为解决现有抛光工艺过程中，待加工件的外表面在抛光液和游星轮内壁的挤压下也被抛光，使得抛光件的原貌或者抛光件的外表面形貌被破坏的问题而设计。涉及一种游星轮组件，包括：游星轮，游星轮具有开孔，游星轮的内圆周面设有传动结构，传动结构与待抛光件的外圆周面相接触，且用于保护待抛光件的外圆周面。还涉及一种抛光装置，包括：上述的游星轮组件。该游星轮组件及其抛光装置能够保护待抛光件的外圆周面不被游星轮的内圆周面挤压，使得待抛光件的原貌或者待抛光件的外圆周面形貌不被破坏。 | ||
| 搜索关键词： | 游星轮 抛光件 抛光装置 外圆周面 形貌 传动结构 内圆周面 挤压 半导体技术领域 抛光工艺过程 本实用新型 待加工件 面相接触 抛光液 外圆周 抛光 开孔 内壁 | ||
【主权项】：
1.一种游星轮组件，其特征在于，包括：游星轮(100)，所述游星轮(100)具有开孔，所述游星轮(100)的内圆周面设有传动结构，所述传动结构与待抛光件(200)的外圆周面相接触，且所述传动结构用于保护待抛光件(200)的外圆周面。
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