[实用新型]机械手臂对准装置有效
| 申请号： | 201721786352.X | 申请日： | 2017-12-19 |
| 公开（公告）号： | CN207606843U | 公开（公告）日： | 2018-07-13 |
| 发明（设计）人： | 刘普然;黄志凯 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | B25J9/08 | 分类号： | B25J9/08;B25J9/16 |
| 代理公司： | 上海盈盛知识产权代理事务所(普通合伙) 31294 | 代理人： | 孙佳胤 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型提供的机械手臂对准装置，包括：安装于预对准单元的支架上的第一光信号发射器和第一光信号接收器，以及安装于机械手臂竖直方向上的一具有多个坡度的阶梯状结构；所述第一光信号发射器用于按预设方向向所述阶梯状结构发射光信号；所述第一光信号接收器用于接收经所述阶梯状结构反射的光信号，并根据接收到的反射光信号的位置判断所述机械手臂与所述预对准单元中的卡盘是否对准。本实用新型提高了机械手臂与预对准单元中卡盘之间相对位置检测的准确度与自动化程度，确保了晶圆制造工艺的顺利进行。 | ||
| 搜索关键词： | 机械手臂 阶梯状结构 预对准 光信号发射器 光信号接收器 本实用新型 对准装置 卡盘 相对位置检测 反射光信号 准确度 位置判断 制造工艺 发射光 晶圆 竖直 预设 支架 反射 坡度 对准 自动化 | ||
【主权项】：
1.一种机械手臂对准装置，其特征在于，包括：安装于预对准单元的支架上的第一光信号发射器和第一光信号接收器；安装于机械手臂竖直方向上的一具有多个坡度的阶梯状结构；所述第一光信号发射器用于按预设方向向所述阶梯状结构发射光信号；所述第一光信号接收器用于接收经所述阶梯状结构反射的光信号，并根据接收到的反射光信号的位置判断所述机械手臂与所述预对准单元中的卡盘是否对准。
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