[实用新型]一种清洁装置的EUV灯结构有效
| 申请号： | 201721789659.5 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN207770430U | 公开（公告）日： | 2018-08-28 |
| 发明（设计）人： | 吕玉武;吴玉景;陈红晓;王萃梓;蔡晓义;柯贤军;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | B08B11/04 | 分类号： | B08B11/04 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 彭俊垣 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及玻璃基板清洁装置技术领域，尤其涉及一种清洁装置的EUV灯结构，包括内部用于放置玻璃基板的腔室；在所述腔室内平行于所述玻璃基板形成有可旋转的EUV灯，所述EUV灯的照射方向正对于所述玻璃基板，且所述EUV灯旋转形成的投影完全覆盖所述玻璃基板。本实用新型的发明目的在于提供一种清洁装置的EUV灯结构，采用本实用新型提供的技术方案解决了现有采用固定式EUV灯的清洁装置，无法对玻璃基板进行彻底清洁，以及造成AMOLED屏局部损坏的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 玻璃基板 清洁装置 本实用新型 灯结构 玻璃基板清洁 装置技术领域 方案解决 局部损坏 可旋转的 照射方向 固定式 腔室 投影 平行 室内 清洁 | ||
【主权项】：
1.一种清洁装置的EUV灯结构，其特征在于：包括内部用于放置玻璃基板的腔室；在所述腔室内平行于所述玻璃基板形成有可旋转的EUV灯，所述EUV灯的照射方向正对于所述玻璃基板，且所述EUV灯旋转形成的投影完全覆盖所述玻璃基板。
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