[实用新型]一种质量流量控制器有效
| 申请号： | 201721794204.2 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN207764658U | 公开（公告）日： | 2018-08-24 |
| 发明（设计）人： | 赵青松;南建辉 | 申请（专利权）人： | 北京创昱科技有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 102209 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体技术领域，尤其涉及一种质量流量控制器，包括进气管路、出气管路和控制组件，进气管路和/或出气管路为多条，进气管路一端为进气口，另一端与各出气管路连通，各进气管路上均设有电位监测元件，控制组件与电位监测元件连接，且控制组件控制进气管路与出气管路的气体流量。为实现多种气体先均匀混气后均匀供气的目的，可采用本实用新型设置多条进气管路和多条出气管路，控制组件控制每条进气管路及出气管路的气体流量，从而达到混气均匀和供气均匀的要求。由此本实用新型在多路进气管路和多路出气管路的搭配下，可以节约可观配气管路的设计费用，设备购置费用和减小配气箱体的空间，可以代替单独的多个普通质量流量控制器使用。 | ||
| 搜索关键词： | 出气管路 进气管路 控制组件 质量流量控制器 本实用新型 电位监测 气体流量 多路 混气 供气 进气口 半导体技术领域 配气管路 元件连接 进气管 气箱体 减小 连通 搭配 节约 | ||
【主权项】：
1.一种质量流量控制器，其特征在于：包括进气管路、出气管路和控制组件，所述进气管路和/或所述出气管路为多条，所述进气管路一端为进气口，另一端与各所述出气管路连通，各所述进气管路上均设有电位监测元件，所述控制组件与所述电位监测元件连接，且所述控制组件控制所述进气管路和所述出气管路的气体流量。
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