[实用新型]一种用于手机玻璃基板生产的表面镀膜装置

摘要

本实用新型公开了一种用于手机玻璃基板生产的表面镀膜装置，包括真空室，真空室的外表面上设有小多弧源和电磁控大面积弧源，真空室的竖向中心上设有柱弧源，真空室的底端设有旋转靶台，旋转靶台的左右两端均设有工件架，真空室的底端两侧分别设有真空抽气系统和送气系统，真空室底部设有中空容纳间，中空容纳间内设有伺候旋转电机，旋转靶台底部中心位置处设有柱形孔，绕柱形孔外设有导向套筒，伺候旋转电机连接有旋转杆，旋转杆穿过真空室底端铆接在柱形孔内，导向套筒与旋转杆之间通过卡箍固定，旋转靶台上设有套接孔，工件架通过若干个第一轴承安装在套接孔内，结构简单，镀膜稳定，提高真空室内各点成膜的一致性和镀膜的效率，提升了镀膜的成品率。

主权项

1.一种用于手机玻璃基板生产的表面镀膜装置，包括真空室(1)，其特征在于：所述真空室(1)的内表面上设有小多弧源(2)和电磁控大面积弧源(3)，且在真空室(1)的竖向中心上设有柱弧源(4)，所述真空室(1)的底端设有旋转靶台(5)，所述旋转靶台(5)的左右两端均设有工件架(6)，在真空室(1)的底端两侧还分别设有真空抽气系统(7)和送气系统(8)；所述真空室(1)底部设有中空容纳间(9)，所述中空容纳间(9)内设有伺候旋转电机(10)，所述旋转靶台(5)底部中心位置处设有柱形孔(11)，绕所述柱形孔(11)外设有导向套筒(12)，所述伺候旋转电机(10)连接有旋转杆(13)，所述旋转杆(13)穿过所述真空室(1)底端，且旋转杆(13)铆接在所述柱形孔(11)内，所述导向套筒(12)与所述旋转杆(13)之间通过卡箍(14)固定，所述旋转靶台(5)上设有套接孔(15)，所述工件架(6)通过若干个第一轴承(16)固定安装在所述套接孔(15)内。