[实用新型]一种振膜及MEMS麦克风

摘要

本实用新型公开了一种振膜及MEMS麦克风，属于电子设备技术领域。本实用新型所提供的振膜包括薄膜本体和连接部，薄膜本体上设置有多个第一气孔和第二气孔，每一第一气孔内均设置有一第一弧形挡片，每一第二气孔内均设置有一第二弧形挡片。该振膜通过在薄膜本体上设置第一气孔和第二气孔，能够有效地降低振膜硬度，提高振膜的灵敏度，降低生产过程中热应力对振膜的影响，以及提高振膜的抗高气压冲击能力和抗摔能力。通过在每一第一气孔内均设置有第一弧形挡片，在每一第二气孔内均设置有一第二弧形挡片，能够有效地改善该振膜的低频响应特性。本实用新型还提供了一种包含上述振膜的MEMS麦克风。

主权项

1.一种振膜，其特征在于，包括：薄膜本体(1)，其呈平面型，所述薄膜本体(1)的边缘处设置有第一弧形孔群和第二弧形孔群，所述第一弧形孔群和所述第二弧形孔之间形成环形带状区域，所述第一弧形孔群包括多个第一气孔(3)，每一所述第一气孔(3)内均设置有一第一弧形挡片(5)，所述第二弧形孔群包括多个第二气孔(4)，每一所述第二气孔(4)内均设置有一第二弧形挡片(6)，多个所述第一气孔(3)和多个所述第二气孔(4)均呈圆形阵列排布，且均以所述薄膜本体(1)的中心轴为阵列中心；连接部(2)，所述连接部(2)由所述薄膜本体(1)的边缘处向外延伸，所述薄膜本体(1)能够以所述连接部(2)所在平面为平衡位置进行往复振动。