[实用新型]一种陶瓷电容式压力传感器的测试夹具有效
| 申请号： | 201721805710.7 | 申请日： | 2017-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN207717287U | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 向长秋;肖小朋;杨攀 | 申请（专利权）人： | 深圳顺络电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01L27/00 | 分类号： | G01L27/00 |
| 代理公司： | 深圳新创友知识产权代理有限公司 44223 | 代理人： | 方艳平 |
| 地址： | 518110 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种陶瓷电容式压力传感器的测试夹具，包括底座和压合板，底座和压合板固定连接，底座和压合板均采用合金钢材料制成，其中：底座上设有多个传感器芯体座、气流槽和气源接头，多个传感器芯体座设置在底座的上表面以用于置放陶瓷电容式压力传感器芯片，气流槽设置在多个传感器芯体座的下端且分别与多个传感器芯体座连通，气源接头与气流槽连通；压合板上设有多个卡块探针，多个卡块探针分别与多个传感器芯体座的位置相互对应以分别对置放于多个传感器芯体座上的多个陶瓷电容式压力传感器芯片进行测试。本实用新型能够适应电容式压力传感器芯体在‑55～150℃、‑0.1～10.0MPa的范围内进行标定及测试，并保证标定及测试过程中的一致性和准确性。 | ||
| 搜索关键词： | 传感器芯体 底座 陶瓷电容 压合板 气流槽 压力传感器芯片 本实用新型 压力传感器 测试夹具 标定 卡块 探针 连通 电容式压力传感器 合金钢材料 测试 测试过程 气源接头 上表面 对置 下端 芯体 置放 保证 | ||
【主权项】：
1.一种陶瓷电容式压力传感器的测试夹具，其特征在于，包括底座和压合板，所述底座和所述压合板固定连接，所述底座和所述压合板均采用合金钢材料制成，其中：所述底座上设有多个传感器芯体座、气流槽和气源接头，多个所述传感器芯体座设置在所述底座的上表面以用于置放陶瓷电容式压力传感器芯片，所述气流槽设置在多个所述传感器芯体座的下端且分别与多个所述传感器芯体座连通，所述气源接头与所述气流槽连通；所述压合板上设有多个卡块探针，多个所述卡块探针分别与多个所述传感器芯体座的位置相互对应以分别对置放于多个所述传感器芯体座上的多个所述陶瓷电容式压力传感器芯片进行测试。
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