[实用新型]一种基板脱膜监控装置有效
| 申请号： | 201721819190.5 | 申请日： | 2017-12-20 |
| 公开（公告）号： | CN207719156U | 公开（公告）日： | 2018-08-10 |
| 发明（设计）人： | 刘刚;张毅先;任思雨;苏君海;李建华 | 申请（专利权）人： | 信利（惠州）智能显示有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 彭俊垣 |
| 地址： | 516029 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及薄膜晶体管制造设备技术领域，尤其涉及一种基板脱膜监控装置，包括脱膜机和将基板传送穿过脱膜机的传送装置；在所述脱膜机的出口处固定悬置有拍摄方向正对于所述传送装置的摄像设备；所述摄像设备与预装有监控软件的PC端信号连接。本实用新型的发明目的在于提供一种脱膜效果监控装置，采用本实用新型提供的技术方案解决了现有采用抽检方法监控基板脱膜效果存在严重滞后性以及监控效果差的技术问题。 | ||
| 搜索关键词： | 本实用新型 监控装置 脱膜机 传送装置 摄像设备 脱膜效果 基板 脱膜 薄膜晶体管制造 设备技术领域 方案解决 基板传送 监控基板 监控软件 监控效果 信号连接 滞后性 悬置 穿过 拍摄 | ||
【主权项】：
1.一种基板脱膜监控装置，其特征在于：包括脱膜机和将基板传送穿过脱膜机的传送装置；在所述脱膜机的出口处固定悬置有拍摄方向正对于所述传送装置的摄像设备；所述摄像设备与预装有监控软件的PC端信号连接。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
