[实用新型]镀膜设备温度控制装置有效
| 申请号： | 201721833297.5 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN207581926U | 公开（公告）日： | 2018-07-06 |
| 发明（设计）人： | 屈道宽;王广洲;许璐;王涛;高琰;张坡;侯圣勇;明玲;高蕾 | 申请（专利权）人： | 山东理工昊明新能源有限公司;山东理工职业学院 |
| 主分类号： | C23C14/54 | 分类号： | C23C14/54 |
| 代理公司： | 青岛发思特专利商标代理有限公司 37212 | 代理人： | 卢登涛 |
| 地址： | 272001 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型公开一种镀膜设备温度控制装置，属于温度检测技术领域，设置在多腔室设备中，多腔室设备包括多腔室设备包括进片腔、加热腔、工艺腔、冷却腔和出片腔，温度控制装置包括温度检测基板，温度检测基板由进片腔进入多腔室设备，经过加热腔、工艺腔、冷却腔和出片腔后运行出多腔室设备，温度检测基板上设有温度检测模块、数据寄存器和无线传输模块，数据寄存器连接温度检测模块和无线传输模块，无线传输模块与外部终端实现数据通讯，本装置能够实现多腔室设备内温度的检测设传输，解决了现有技术中出现的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 多腔室设备 温度控制装置 无线传输模块 温度检测 基板 温度检测模块 数据寄存器 镀膜设备 工艺腔 加热腔 冷却腔 出片 进片 温度检测技术 本实用新型 数据通讯 外部终端 传输 检测 | ||
【主权项】：
1.一种镀膜设备温度控制装置，设置在多腔室设备中，多腔室设备包括进片腔、加热腔(3)、工艺腔、冷却腔和出片腔，其特征在于：所述的温度控制装置包括温度检测基板(6)，温度检测基板(6)由进片腔进入多腔室设备，经过加热腔(3)、工艺腔、冷却腔和出片腔后运行出多腔室设备，温度检测基板(6)上设有温度检测模块(4)、数据寄存器和无线传输模块(8)，数据寄存器连接温度检测模块(4)和无线传输模块(8)，无线传输模块(8)与外部终端(7)实现数据通讯。
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