[实用新型]一种对称式双高真空泵抽气系统以及镀膜系统有效
| 申请号： | 201721837439.5 | 申请日： | 2017-12-25 |
| 公开（公告）号： | CN207632888U | 公开（公告）日： | 2018-07-20 |
| 发明（设计）人： | 刘智山;王安平 | 申请（专利权）人： | 苏州浩联光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人： | 赵琳琳 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及镀膜技术领域，尤其是涉及一种对称式双高真空泵抽气系统以及镀膜系统，包括：真空室、第一高真空泵、第二高真空泵、第一高真空阀和第二高真空阀；所述真空室的两侧对称设置有第一泵室和第二泵室；所述第一高真空泵设置于所述第一泵室内；所述第二高真空泵设置于所述第二泵室内；所述第一高真空阀设置于所述真空室内靠近第一高真空泵的通道处；所述第二高真空阀设置于所述真空室内靠近第二高真空泵的通道处。本实用新型因为采用了双高真空泵和双阀设计，整体抽气速度提高了一倍。同时采用的是左右对称结构设计使加入到真空室内的工艺气体从左右两边均匀抽走，能改善镀膜膜层的成膜速率和均匀性，提高了成品产出率。 | ||
| 搜索关键词： | 高真空泵 高真空阀 室内 本实用新型 抽气系统 镀膜系统 对称式 真空室 泵室 左右对称结构 镀膜技术 镀膜膜层 对称设置 工艺气体 产出率 均匀性 速率和 成膜 抽气 双阀 两边 | ||
【主权项】：
1.一种对称式双高真空泵抽气系统，其特征在于，包括：真空室、第一高真空泵、第二高真空泵、第一高真空阀和第二高真空阀；所述真空室的两侧对称设置有第一泵室和第二泵室；所述第一高真空泵设置于所述第一泵室内；所述第二高真空泵设置于所述第二泵室内；所述第一高真空阀设置于所述真空室内靠近第一高真空泵的通道处；所述第二高真空阀设置于所述真空室内靠近第二高真空泵的通道处。
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