[实用新型]用于制造太阳能电池的设备、和用于在制造太阳能电池中使用的基板上丝网印刷的沉积布置有效

专利信息
申请号: 201721864047.8 申请日: 2017-12-27
公开(公告)号: CN208336250U 公开(公告)日: 2019-01-04
发明(设计)人: 达维德·科莱 申请(专利权)人: 应用材料意大利有限公司
主分类号: H01L31/18 分类号: H01L31/18;B41F15/08
代理公司: 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 代理人: 徐金国;赵静
地址: 意大利圣比亚*** 国省代码: 意大利;IT
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摘要: 本公开内容提供了一种用于制造太阳能电池的设备和用于在制造太阳能电池中使用的基板上丝网印刷的沉积布置。设备(100)包括处理站(110)、运输布置(120)和位于处理站(110)处的沉积布置(112)。运输布置(120)包括:第一线性运输器件(122),所述第一线性运输器件经构造以用于在第一方向(1)上运输基板(10);以及运输器件(124),所述运输器件邻近第一线性运输器件(122)并且经构造以用于将基板(10)运输至处理站(110)。沉积布置(112)经构造以平行于第一方向(1)而移动,用于处理要沉积在基板(10)上的材料。
搜索关键词: 基板 沉积 太阳能电池 线性运输 处理站 丝网印刷 运输器件 运输 制造 内容提供 平行 邻近 移动
【主权项】:
1.一种用于制造太阳能电池的设备,其特征在于,所述设备包括:处理站;运输布置,所述运输布置包括:第一线性运输器件,经构造以用于在第一方向上运输基板;和运输器件,邻近所述第一线性运输器件并且经构造以用于将所述基板运输至所述处理站;和沉积布置,所述沉积布置位于所述处理站处,并且经构造以在平行于所述第一方向的方向上移动,用于处理要沉积在所述基板上的材料。
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