[实用新型]一种涂胶显影腔体温湿度控制系统有效

专利信息
申请号: 201721872684.X 申请日: 2017-12-27
公开(公告)号: CN207780480U 公开(公告)日: 2018-08-28
发明(设计)人: 刘庆超;黄志凯 申请(专利权)人: 德淮半导体有限公司
主分类号: G03F7/16 分类号: G03F7/16
代理公司: 上海光华专利事务所(普通合伙) 31219 代理人: 余明伟
地址: 223300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型提供一种涂胶显影腔体温湿度控制系统包括:过滤器、毛细管翅片式冷却装置、加湿器、加热器、风机、风管及涂胶显影腔体;采用水冷毛细管翅片式冷却装置,其生产运营成本较低、设备故障率较低、由设备故障所产生的检修费用及停机时间减少,从而可达到提高生产效率、降低生产成本以及节约资源的目的。
搜索关键词: 涂胶 湿度控制系统 冷却装置 翅片式 毛细管 显影腔 体温 过滤器 加热器 本实用新型 设备故障率 节约资源 设备故障 生产效率 时间减少 显影腔体 运营成本 加湿器 风机 风管 水冷 停机 检修 生产
【主权项】:
1.一种涂胶显影腔体温湿度控制系统,其特征在于,包括:过滤器、毛细管翅片式冷却装置、加湿器、加热器、风机、风管及涂胶显影腔体,所述涂胶显影腔体具有上端口,毛细管翅片式冷却装置位于所述过滤器与所述加湿器之间;所述加热器位于所述加湿器与所述风机之间;所述风管连接所述风机及所述上端口;新进风依次通过所述过滤器、所述毛细管翅片式冷却装置、所述加湿器、所述加热器、所述风机、所述风管进入所述涂胶显影腔体,所述过滤器用于过滤所述新进风中的杂质;所述毛细管翅片式冷却装置用于冷却所述新进风;所述加湿器用于加湿所述新进风;所述加热器用于加热所述新进风;所述风机用于吸入所述新进风;所述风管用于输送所述新进风。
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