[实用新型]一种OLED线性蒸发源结构有效
| 申请号： | 201721898982.6 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN207699657U | 公开（公告）日： | 2018-08-07 |
| 发明（设计）人： | 林文晶;彭勃 | 申请（专利权）人： | 上海升翕光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/12 | 分类号： | C23C14/12;C23C14/24 |
| 代理公司： | 长春菁华专利商标代理事务所(普通合伙) 22210 | 代理人： | 南小平 |
| 地址： | 201506 上海市金*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种OLED线性蒸发源结构，涉及蒸镀设备技术领域。所述OLED线性蒸发源结构包括坩埚，所述坩埚上设有坩埚出气口；本体，所述本体的底部中央位置设有本体进气口；及置于本体的顶部且呈线性均匀排布的多个喷嘴；所述本体在垂直于喷嘴排列方向上的两侧分别设有封板，所述封板紧固在所述本体上，且能实现对所述本体的内腔的密封。本实用新型的OLED线性蒸发源结构经过加热坩埚产生的蒸镀气体，通过所述本体进气口进入到本体内腔中后，会均衡地进入各本体通孔内，再经由各喷嘴将蒸渡气体均匀一致地喷射到基板上，能提高有机材料镀膜的厚度均匀性和良率。 | ||
| 搜索关键词： | 线性蒸发源 坩埚 进气口 本实用新型 喷嘴 封板 底部中央位置 喷嘴排列方向 厚度均匀性 加热坩埚 均匀排布 均匀一致 有机材料 蒸镀设备 出气口 体内腔 镀膜 基板 紧固 良率 内腔 通孔 蒸镀 密封 喷射 垂直 均衡 | ||
【主权项】：
1.一种OLED线性蒸发源结构，其特征在于，包括：坩埚(10)，所述坩埚(10)上设有坩埚出气口(101)；本体(20)，所述本体(20)的内腔为中心对称的扇形截面形状；所述本体(20)的底部中央位置设有本体进气口，用来与坩埚出气口(101)相连通；所述本体(20)的顶部，设置有水平呈线性均匀排布，垂直高度相同的多个喷嘴(30)；所述本体(20)在垂直于喷嘴(30)排列方向上的两侧分别设有封板(40)，所述封板(40)紧固在所述本体(20)上，且能实现对所述本体(20)的内腔的密封。
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