[实用新型]一种非晶合金的镀膜设备有效
| 申请号： | 201721905657.8 | 申请日： | 2017-12-29 |
| 公开（公告）号： | CN207727137U | 公开（公告）日： | 2018-08-14 |
| 发明（设计）人： | 董伍乐;赵海;李定春;翟会阳;柳先峰 | 申请（专利权）人： | 上海驰声新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/02;C23C14/06 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 吴泽群 |
| 地址： | 201906 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本实用新型提供了一种非晶合金的镀膜设备及蒸镀着色方法，包括：反应炉；挂具，挂具固定在反应炉内；保护气体装置，通过保护气体管路与反应炉相连；机械泵，通过第一抽气管路与反应炉相连，第一抽气管路上设置有粗抽阀；分子泵，通过第二抽气管路与反应炉相连，第二抽气管路上设置有高抽阀；电弧靶，电弧靶的电极位于反应炉内，且在反应炉内设置有靶材；控制箱，与机械泵、粗抽阀、分子泵、高抽阀、电弧靶和靶材相连。该非晶合金镀膜方法具有操作简单、良率高、颜色多样性等特点。本实用新型填补和解决了目前市面上非晶合金镀膜设备和镀膜方法的空白。 | ||
| 搜索关键词： | 反应炉 抽气管路 非晶合金 镀膜设备 电弧靶 本实用新型 分子泵 机械泵 靶材 粗抽 镀膜 挂具 保护气体装置 颜色多样性 保护气体 控制箱 电极 良率 蒸镀 着色 填补 | ||
【主权项】：
1.一种非晶合金的镀膜设备，其特征在于，包括：反应炉；挂具，所述挂具固定在所述反应炉内；保护气体装置，通过保护气体管路与所述反应炉相连；机械泵，通过第一抽气管路与所述反应炉相连，所述第一抽气管路上设置有粗抽阀；分子泵，通过第二抽气管路与所述反应炉相连，所述第二抽气管路上设置有高抽阀；电弧靶，所述电弧靶的电极位于所述反应炉内，且在所述反应炉内设置有靶材；控制箱，与机械泵、粗抽阀、分子泵、高抽阀、电弧靶和靶材相连。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海驰声新材料有限公司，未经上海驰声新材料有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201721905657.8/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种具有导热件的热蒸发坩埚组件
- 下一篇：磁控装置及物理气相沉积设备
- 同类专利
- 专利分类
