[实用新型]电镀装置有效
申请号: | 201721923761.X | 申请日: | 2017-12-29 |
公开(公告)号: | CN208136354U | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
发明(设计)人: | 王振荣;黄利松;刘红兵 | 申请(专利权)人: | 上海新阳半导体材料股份有限公司 |
主分类号: | C25D7/12 | 分类号: | C25D7/12;C25D17/02;C25D17/10 |
代理公司: | 上海脱颖律师事务所 31259 | 代理人: | 李强;倪嘉慧 |
地址: | 201616 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种电镀装置,其特征在于,包括:槽体、电镀用屏蔽装置、电镀阳极和电镀阴极,其中,槽体内部设有容腔,容腔内容纳有电镀液,电镀阳极和电镀阴极设置于容腔内,阳极屏蔽板设置于电镀阳极和阴极屏蔽板之间,阴极屏蔽板设置于电镀阴极和阳极屏蔽板之间。 | ||
搜索关键词: | 电镀 阴极 电镀阳极 容腔 电镀装置 阳极屏蔽 阴极屏蔽 板设置 本实用新型 槽体内部 屏蔽装置 电镀液 槽体 | ||
【主权项】:
1.一种电镀装置,其特征在于,包括:槽体、电镀用屏蔽装置、电镀阳极和电镀阴极,其中,槽体内部设有容腔,容腔内容纳有电镀液,电镀阳极和电镀阴极设置于容腔内,阳极屏蔽板设置于电镀阳极和阴极屏蔽板之间,阴极屏蔽板设置于电镀阴极和阳极屏蔽板之间。
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