[实用新型]一种用于清洗晶片的花篮有效

专利信息
申请号: 201721930723.7 申请日: 2017-12-22
公开(公告)号: CN207909846U 公开(公告)日: 2018-09-25
发明(设计)人: 米洪龙;王琳;李小兵;梁建;关永莉 申请(专利权)人: 山西飞虹激光科技有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673;H01L33/00
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 041603 山*** 国省代码: 山西;14
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摘要: 实用新型涉及一种用于清洗晶片的花篮,包括:第一侧板1和第二侧板2;其中,所述第一侧板1内侧的两端上分别设置有至少一个滑槽3,所述第二侧板2内侧的两端上分别设置有与滑槽3相对应的滑块4;所述第二侧板2上的各个滑块4分别插入到所述第一侧板1相应的各个滑槽3中,形成具有内部空间的花篮,滑块4可在滑槽3中滑动,以调节所述内部空间的大小;进一步包括:将滑块4与滑槽3的滑动位置固定的固定件;所述第一侧板1和所述第二侧板2上均设置有若干个开槽5。本方案中,实现了对花篮尺寸的可调,降低了生产成本。
搜索关键词: 侧板 滑槽 滑块 花篮 清洗晶片 本实用新型 滑动位置 固定的 固定件 滑动 开槽 可调 生产成本
【主权项】:
1.一种用于清洗晶片的花篮,其特征在于,包括:第一侧板(1)和第二侧板(2);其中,所述第一侧板(1)内侧的两端上分别设置有至少一个滑槽(3),所述第二侧板(2)内侧的两端上分别设置有与滑槽(3)相对应的滑块(4);所述第二侧板(2)上的各个滑块(4)分别插入到所述第一侧板(1)相应的各个滑槽(3)中,形成具有内部空间的花篮,滑块(4)可在滑槽(3)中滑动,以调节所述第一侧板(1)和所述第二侧板(2)之间的垂直距离;进一步包括:将滑块(4)与滑槽(3)的滑动位置固定的固定件;所述第一侧板(1)和所述第二侧板(2)上均设置有若干个开槽(5)。
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