[发明专利]在基板上沉积沉积材料的蒸镀板、蒸镀设备、以及在基板上沉积沉积材料的方法有效
| 申请号： | 201780001411.4 | 申请日： | 2017-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN110462095B | 公开（公告）日： | 2021-10-01 |
| 发明（设计）人： | 姚固;邹清华;段廷原 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥鑫晟光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 刘悦晗;陈源 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种用于在基板(5，5a，5b)上沉积沉积材料的蒸镀板(100)，蒸镀板(100)具有第一侧(S1)和与第一侧(S1)相对的第二侧(S2)，包括：主体板(1)；第一冷却层(11)，其位于主体板(1)上并且位于蒸镀板(100)的第一侧(S1)；以及第一加热层(12)，其位于第一冷却层(11)的远离主体板(1)的一侧。第一冷却层(11)构造为冷却位于蒸镀板(100)的第一侧(S1)的第一加热层(12)。第一加热层(12)构造为加热沉积在蒸镀板(100)的第一侧(S1)上的材料。还提供一种蒸镀设备、在基板(5，5a，5b)上沉积沉积材料的方法，以及显示设备。 | ||
| 搜索关键词： | 基板上 沉积 材料 蒸镀板 设备 以及 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于在基板上沉积沉积材料的蒸镀板，该蒸镀板具有第一侧和与第一侧相对的第二侧，该蒸镀板包括：/n主体板；/n第一冷却层，其位于所述主体板上并且位于所述蒸镀板的第一侧；和/n第一加热层，其位于所述第一冷却层的远离所述主体板的一侧；/n其中，所述第一冷却层构造为冷却位于所述蒸镀板的第一侧的所述第一加热层；并且/n所述第一加热层构造为加热沉积在所述蒸镀板的第一侧上的材料。/n
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