[发明专利]半导体装置有效

专利信息
申请号: 201780002602.2 申请日: 2017-02-15
公开(公告)号: CN107851666B 公开(公告)日: 2021-11-23
发明(设计)人: 小野泽勇一;大井幸多 申请(专利权)人: 富士电机株式会社
主分类号: H01L29/78 分类号: H01L29/78;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/06;H01L29/06;H01L29/12;H01L29/739
代理公司: 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 代理人: 齐雪娇;周春燕
地址: 日本神奈*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 提供一种半导体装置,具备:半导体基板;第一导电型的漂移层,其形成于半导体基板;第二导电型的基区,其在半导体基板,形成于漂移层的上方;以及第一导电型的积累层,其设置于漂移层与基区之间,且浓度比漂移层高浓度,积累层具有第一积累区和第二积累区,所述第二积累区在俯视时积累层与不同区域的边界侧,形成得比第一积累区浅。
搜索关键词: 半导体 装置
【主权项】:
一种半导体装置,其特征在于,具备:半导体基板;第一导电型的漂移层,其形成于所述半导体基板;第二导电型的基区,其在所述半导体基板,形成于所述漂移层的上方;以及第一导电型的积累层,其设置于所述漂移层与所述基区之间,且浓度比所述漂移层的浓度高,所述积累层具有第一积累区和第二积累区,所述第二积累区在俯视时所述积累层与不同区域的边界侧,形成得比所述第一积累区浅。
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