[发明专利]半导体装置有效
申请号: | 201780002602.2 | 申请日: | 2017-02-15 |
公开(公告)号: | CN107851666B | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
发明(设计)人: | 小野泽勇一;大井幸多 | 申请(专利权)人: | 富士电机株式会社 |
主分类号: | H01L29/78 | 分类号: | H01L29/78;H01L21/336;H01L21/8234;H01L27/04;H01L27/06;H01L29/06;H01L29/12;H01L29/739 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 齐雪娇;周春燕 |
地址: | 日本神奈*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 提供一种半导体装置,具备:半导体基板;第一导电型的漂移层,其形成于半导体基板;第二导电型的基区,其在半导体基板,形成于漂移层的上方;以及第一导电型的积累层,其设置于漂移层与基区之间,且浓度比漂移层高浓度,积累层具有第一积累区和第二积累区,所述第二积累区在俯视时积累层与不同区域的边界侧,形成得比第一积累区浅。 | ||
搜索关键词: | 半导体 装置 | ||
【主权项】:
一种半导体装置,其特征在于,具备:半导体基板;第一导电型的漂移层,其形成于所述半导体基板;第二导电型的基区,其在所述半导体基板,形成于所述漂移层的上方;以及第一导电型的积累层,其设置于所述漂移层与所述基区之间,且浓度比所述漂移层的浓度高,所述积累层具有第一积累区和第二积累区,所述第二积累区在俯视时所述积累层与不同区域的边界侧,形成得比所述第一积累区浅。
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