[发明专利]等离子电极以及等离子处理装置有效
| 申请号： | 201780004093.7 | 申请日： | 2017-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN108293292B | 公开（公告）日： | 2020-08-18 |
| 发明（设计）人： | 森嶋雅人;岩渕胜彦;布濑晓志;藤本円华;西出大亮 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46;C23C16/509;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/312 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;舒艳君 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 等离子电极(30)具备中间电极板(60)、接地板(40)以及被配置在中间电极板(60)与接地板(40)之间的中间绝缘板(50)。中间电极板(60)的凸部(61)被配置于接地板(40)的贯通孔(42)以及中间绝缘板(50)的贯通孔(52)的内侧。被设置在凸部(61)的中心轴的贯通孔(62)或者被设置在贯通孔(42)的周围的贯通孔(41)的任意一方将第一处理气体向接地板(40)的下方排出。贯通孔(62)或者贯通孔(41)的任意另一方排出接地板(40)的下方的气体。凸部(61)的周围的第二流路对凸部(61)的外侧壁与贯通孔(42)的内侧壁之间的间隙供给经由第一流路(68)所供给的第二处理气体。供给到该间隙的第二处理气体通过施加到中间电极板(60)的高频电力而在该间隙内被等离子化。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子 电极 以及 处理 装置 | ||
【主权项】：
1.一种等离子电极，其特征在于，具备：第一电极板，具有圆筒形状的多个凸部，并被施加高频电力；接地板，设置有具有比上述凸部的外径大的内径的圆筒形状的多个第一贯通孔；以及绝缘板，设置具有比上述凸部的外径大的内径的圆筒形状的多个第二贯通孔，并被配置于上述第一电极板与上述接地板之间，上述第一电极板、上述绝缘板以及上述接地板以将上述凸部配置于上述第一贯通孔以及上述第二贯通孔的内侧的方式重叠配置，在上述凸部沿着上述凸部的中心轴设置有第三贯通孔，在上述第一电极板与上述绝缘板之间设置有第一流路，在上述凸部的周围设置有与上述第一流路连通的第二流路，在上述接地板中，在各个上述第一贯通孔的周围设置有第四贯通孔，上述第三贯通孔或者上述第四贯通孔的任意一方将第一处理气体向上述接地板的下方排出，上述第三贯通孔或者上述第四贯通孔的任意另一方排出上述接地板的下方的气体，上述第二流路与形成在上述凸部的外侧壁和上述第一贯通孔的内侧壁之间的间隙连通，并对该间隙供给经由上述第一流路所供给的第二处理气体，供给到上述间隙的上述第二处理气体通过施加到上述第一电极板的高频电力而在上述间隙内被等离子化。
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