[发明专利]用于丝网印刷基板的设备和方法、和太阳能电池生产设备有效
| 申请号： | 201780004974.9 | 申请日： | 2017-04-28 |
| 公开（公告）号： | CN109195801B | 公开（公告）日： | 2022-03-01 |
| 发明（设计）人： | 达维德·科莱;路易吉·德·桑蒂 | 申请（专利权）人： | 应用材料意大利有限公司 |
| 主分类号： | B41F15/08 | 分类号： | B41F15/08;B41F15/42;B41F15/46;H05K3/12 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;吴启超 |
| 地址： | 意大利圣比亚*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板(10)上的设备(100)。设备(100)包括工艺头部组件(110)和驱动装置(140)。工艺头部组件(100)包括：一个或多个沉积装置(120)，一个或多个沉积装置(120)被配置为用于将材料从丝网(154)传送到基板(10)；和一个或多个材料处理装置(130)，所述一个或多个材料处理装置(130)用于处理丝网(154)上的材料。所述驱动装置(140)被配置为用于沿着基板支撑件(20)在第一方向(1)上移动工艺头部组件(110)，以便在沉积工艺过程中传送和处理材料。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 丝网 印刷 设备 方法 太阳能电池 生产 | ||
【主权项】：
1.一种用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备，所述设备包括：工艺头部组件，所述工艺头部组件包括：一个或多个沉积装置，所述一个或多个沉积装置被配置为用于将所述材料从丝网传送到所述基板；和一个或多个材料处理装置，所述一个或多个材料处理装置被配置为用于处理所述丝网上的所述材料；驱动装置，所述驱动装置被配置为用于沿着基板支撑件在第一方向上移动所述工艺头部组件，以便在沉积工艺过程中传送和处理所述材料。
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