[发明专利]微小突起的体积测定方法及液体材料的涂布方法有效
申请号: | 201780006528.1 | 申请日: | 2017-01-10 |
公开(公告)号: | CN108474648B | 公开(公告)日: | 2021-05-28 |
发明(设计)人: | 大庭博明 | 申请(专利权)人: | NTN株式会社 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;B05D1/26;B05D3/00;G01B11/24 |
代理公司: | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人: | 周蓉;张鑫 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 微小突起的体积测定方法包括如下步骤:利用白光干涉法测定微小突起的三维形状(S102);比较检测出干涉光强度的包络线的第一个峰值的高度与基准面的高度,并提取高于基准面的部分作为微小突起的突起顶点部(S103);检测提取出的突起顶点部的高度(S104);检测由突起顶点部和高度与基准面的高度不同的部位构成的区域中的外接四边形的横向尺寸、纵向尺寸、或横向尺寸与纵向尺寸的平均的任一个来作为直径,其中该部位包含突起顶点部或与突起顶点部接触(S105);以及基于突起顶点部的高度与直径计算微小突起的体积(S106)。 | ||
搜索关键词: | 微小 突起 体积 测定 方法 液体 材料 | ||
【主权项】:
1.一种微小突起的体积测定方法,其特征在于,包括如下步骤:利用白光干涉法测定微小突起的三维形状;使用在测定所述三维形状的步骤中测定得到的高度来计算基准面的高度;提取比所述基准面要高的部分来作为所述微小突起的突起顶点部;检测提取出的所述突起顶点部的高度;检测由所述突起顶点部和高度与所述基准面的高度不同的部位构成的区域中的外接四边形的横向尺寸、纵向尺寸、及所述横向尺寸与所述纵向尺寸的平均中的任一个来作为直径,其中该部位包含所述突起顶点部或与所述突起顶点部接触;以及基于所述突起顶点部的高度与所述直径来计算所述微小突起的体积。
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