[发明专利]激光加工装置及激光输出装置有效
| 申请号： | 201780008410.2 | 申请日： | 2017-01-24 |
| 公开（公告）号： | CN108602159B | 公开（公告）日： | 2020-09-29 |
| 发明（设计）人： | 奥间惇治;长尾光洋;伊崎泰则 | 申请（专利权）人： | 浜松光子学株式会社 |
| 主分类号： | B23K26/064 | 分类号： | B23K26/064;H01L21/301;H01S3/00;H01S3/10;B23K26/53 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 杨琦 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 激光加工装置(200)具备：装置框架(210)、被安装于装置框架且支承加工对象物(1)的支承部(230)、被安装于装置框架的激光输出部(300)、以及以可相对于激光输出部移动的方式被安装于装置框架的激光聚光部(400)。激光输出部具有出射激光的激光光源，激光聚光部具有：调制并反射激光的反射型空间光调制器、相对于加工对象物将激光聚光的聚光光学系统、以及构成反射型空间光调制器的反射面与聚光光学系统的入射瞳面处于成像关系的两侧远心光学系统的成像光学系统。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 加工 装置 输出 | ||
【主权项】：
1.一种激光加工装置，其特征在于，具备：装置框架；支承部，被安装于所述装置框架，且支承加工对象物；激光输出部，被安装于所述装置框架；以及激光聚光部，以相对于所述激光输出部能够移动的方式被安装于所述装置框架，所述激光输出部具有出射激光的激光光源，所述激光聚光部具有：反射型空间光调制器，调制并反射所述激光；聚光光学系统，相对于所述加工对象物将所述激光聚光；以及成像光学系统，构成所述反射型空间光调制器的反射面与所述聚光光学系统的入射瞳面处于成像关系的两侧远心光学系统。
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