[发明专利]用于涂覆柔性基板的沉积设备在审
| 申请号： | 201780009649.1 | 申请日： | 2017-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN109415804A | 公开（公告）日： | 2019-03-01 |
| 发明（设计）人： | 托马斯·德皮施;于尔根·乌尔里奇;苏珊娜·施拉弗;斯特凡·海因;斯特凡·劳伦兹;沃尔特·文德尔穆特;比约恩·斯蒂克瑟-韦斯;沃尔克·哈克;托尔斯滕·布鲁诺·迪特尔;尼尔·莫里森;乌韦·赫尔曼斯;德克·瓦格纳;赖纳·克拉;克里斯多夫·卡森;瓦莱里亚·梅特 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C16/40 | 分类号： | C23C16/40;C23C16/54;C23C14/08;C23C14/10;C23C14/56;C23C28/04 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述一种用于使用层堆叠涂覆柔性基板(10)的沉积设备(100)。所述沉积设备包含：第一卷筒腔室(110)，容纳用于提供柔性基板的存储卷筒；沉积腔室(120)，布置在第一卷筒腔室的下游，并且包含用于引导柔性基板经过多个沉积单元(121)的涂布滚筒(122)；第二卷筒腔室，布置在沉积腔室(120)的下游，并且容纳卷绕卷筒，用于在沉积后在卷绕卷筒上卷绕柔性基板；和辊组件，经构造以沿着部分凸起和部分凹陷的基板输送路径将柔性基板(10)从第一卷筒腔室输送到第二卷筒腔室。此外，描述一种用于涂覆柔性基板的方法，特别是使用所描述的沉积设备涂覆柔性基板的方法。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性基板 卷筒腔 沉积设备 涂覆 沉积腔室 卷筒 卷绕 基板输送路径 容纳 沉积单元 存储卷筒 涂布滚筒 辊组件 使用层 凹陷 堆叠 上卷 凸起 沉积 | ||
【主权项】：
1.一种用于使用层堆叠涂覆柔性基板(10)的沉积设备(100)，所述沉积设备包含：第一卷筒腔室(110)，容纳用于提供所述柔性基板(10)的存储卷筒(112)；沉积腔室(120)，布置在所述第一卷筒腔室(110)的下游，并且包含用于引导所述柔性基板经过多个沉积单元(121)的涂布滚筒(122)；第二卷筒腔室(150)，布置在所述沉积腔室(120)的下游，并且容纳卷绕卷筒(152)，所述卷绕卷筒(152)用于在沉积后在所述卷绕卷筒(152)上卷绕所述柔性基板(10)；和辊组件，经构造以沿着部分凸起和部分凹陷的基板输送路径将所述柔性基板从所述第一卷筒腔室输送到所述第二卷筒腔室。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
