[发明专利]低动态电阻低电容二极管有效

专利信息
申请号: 201780010004.X 申请日: 2017-01-06
公开(公告)号: CN108604606B 公开(公告)日: 2022-02-15
发明(设计)人: A·D·斯特坎;A·斯多夫尼科夫;G·薛;D·王 申请(专利权)人: 德克萨斯仪器股份有限公司
主分类号: H01L29/861 分类号: H01L29/861;H02H3/20
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人: 徐东升;赵蓉民
地址: 美国德*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 在所描述的示例中,半导体器件(100)的低动态电阻低电容二极管(114)包含重掺杂n型衬底(102)。1微米至5微米厚的轻掺杂n型层(104)被设置在n型衬底(102)上。3微米至8微米厚的轻掺杂p型层(106)被设置在n型层(104)上。半导体器件(100)的低动态电阻低电容二极管(114)包含p型掩埋层(120),该p型掩埋层具有在1×1017cm‑3以上的峰值掺杂物密度并且从p型层(106)延伸穿过n型层(104)至n型衬底(102)。该低动态电阻低电容二极管(114)还包含设置在p型层(106)中的n型区(122),该n型区延伸到p型层(106)的顶表面(124)。
搜索关键词: 动态 电阻 电容 二极管
【主权项】:
1.一种半导体器件,其包括:n型衬底,其具有大于1×1018cm‑3的平均掺杂物密度;设置在所述n型衬底上的1微米至5微米厚的n型层,所述n型层具有小于1×1016cm‑3的平均掺杂物密度;设置在所述n型层上的3微米至8微米厚的p型层,所述p型层具有小于1×1015cm‑3的平均掺杂物密度;以及低电阻低电容二极管即LR‑LC二极管,其包括:p型掩埋层,所述p型掩埋层从所述p型层延伸穿过所述n型层至所述n型衬底,所述p型掩埋层具有大于1×1017cm‑3的峰值掺杂物密度;以及n型区,所述n型区被设置在所述p型层中并延伸到所述p型层的顶表面。
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