[发明专利]光调制器有效
申请号: | 201780012012.8 | 申请日: | 2017-04-03 |
公开(公告)号: | CN108700758B | 公开(公告)日: | 2019-08-09 |
发明(设计)人: | 菅又徹 | 申请(专利权)人: | 住友大阪水泥股份有限公司 |
主分类号: | G02F1/01 | 分类号: | G02F1/01 |
代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 方应星;高培培 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供一种光调制器,其能够使由终端电阻产生的热量有效地分散、放出,提高包含终端电阻的终端基板的可靠性,能够降低热量对于光波导的影响。光调制器具备:光波导基板,形成有光波导;信号电极,设置于该光波导基板,向该光波导施加电场;终端电阻,形成为该信号电极的终端;及终端基板,配置有该终端电阻,所述光调制器的特征在于,对于一个该终端基板,至少具有多个该终端电阻,为了抑制由该终端电阻产生的热量集中于该终端基板内的局部部分的情况或者由该终端电阻产生的热量向该光波导基板传导的情况,使设置于该终端基板且与该终端电阻电连接的接地电极形成得比0.1μm厚。 | ||
搜索关键词: | 终端电阻 终端基板 光调制器 光波导基板 光波导 信号电极 电场 接地电极 热量集中 电连接 有效地 传导 施加 终端 配置 | ||
【主权项】:
1.一种光调制器,具备:光波导基板,形成有光波导;信号电极,设置于该光波导基板,向该光波导施加电场;终端电阻,形成为该信号电极的终端;及终端基板,配置有该终端电阻,所述光调制器的特征在于,对于一个该终端基板,至少具有多个该终端电阻,为了抑制由该终端电阻产生的热量集中于该终端基板内的局部部分的情况或者由该终端电阻产生的热量向该光波导基板传导的情况,使设置于该终端基板且与该终端电阻电连接的接地电极的厚度形成得比该终端电阻的厚度厚且比0.1μm厚。
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