[发明专利]用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备及方法

摘要

提供了用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造的基板(10)上的设备(100)。所述设备(100)包括工艺头部组件(110)，所述工艺头部组件能够至少在第一方向上移动，并且所述工艺头部组件包括：一个或更多个沉积装置(120)，所述一个或更多个沉积装置被配置为用于将所述材料从丝网(154)传送到所述基板(10)；和两个或更多个材料处理装置(130)，所述两个或更多个材料处理装置用于处理所述丝网(154)上的所述材料。

主权项

1.一种用于将材料丝网印刷于用于太阳能电池制造中的基板上的设备，所述设备包括：工艺头部组件，所述工艺头部组件能够至少在第一方向上移动，所述工艺头部组件包括：一个或更多个沉积装置，所述一个或更多个沉积装置被配置为用于将所述材料从丝网传送到所述基板；和两个或更多个材料处理装置，所述两个或更多个材料处理装置被配置为用于处理所述丝网上的所述材料。