[发明专利]致动器系统和光刻设备有效
| 申请号： | 201780013380.4 | 申请日： | 2017-01-30 |
| 公开（公告）号： | CN108700828B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | R·E·范莱文;H·巴特勒 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G01B9/02 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 王静 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种致动器系统(AS)配置成定位物体(OJ)，所述致动器系统包括压电式致动器(PA)，所述压电式致动器包括致动器接触表面(ACS)。所述压电式致动器置成经由所述致动器接触表面将力(F)施加至所述物体上。所述致动器系统还包括光学位置传感器(OPS)，所述光学位置传感器配置成测量所述致动器接触表面的位置。所述压电式致动器包括透明压电式材料。所述光学位置传感器配置成使光束(OB)穿过所述透明压电式材料透射至所述致动器接触表面。所述透明压电式材料可以是LiNBO |
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| 搜索关键词： | 致动器 系统 光刻 设备 | ||
【主权项】：
1.一种致动器系统，配置成用于定位物体，所述致动器系统包括：压电式致动器，包括致动器接触表面，其中所述压电式致动器配置成经由所述致动器接触表面将力施加至所述物体上，和光学位置传感器，配置成测量所述致动器接触表面的位置，其中所述压电式致动器包括透明压电材料，以及其中所述光学位置传感器配置成用于使光束穿过所述透明压电材料透射至所述致动器接触表面。
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