[发明专利]用于界定设计数据的重复结构中的关注区域的系统及方法

摘要

本发明揭示一种方法，其包含：识别具有第一敏感度阈值的第一关注区域的第一集合，所述第一关注区域与设计数据中的重复单元块内的第一受关注设计相关联；识别具有额外敏感度阈值的额外关注区域的额外集合，所述额外关注区域与设计数据中的重复单元块内的额外受关注设计相关联；基于所述第一敏感度阈值识别样本的选定区域的一或多个图像中的第一关注区域的所述第一集合内的一或多个缺陷；及基于所述额外敏感度阈值识别所述样本的所述选定区域的所述一或多个图像中的所述额外关注区域的所述额外集合内的一或多个缺陷。

主权项

1.一种系统，其包括：检验工具；用户接口；及控制器，其包含经配置以执行存储于存储器中的一组程序指令的一或多个处理器，其中所述程序指令经配置以使得所述一或多个处理器：接收设计数据，其中所述设计数据包含重复单元块；在所述用户接口上呈现所述重复单元块的特定单元；界定与所述特定单元中的第一受关注设计相关联的第一关注区域，其中所述第一关注区域具有第一敏感度阈值；界定与所述特定单元中的额外受关注设计相关联的额外关注区域，其中所述额外关注区域具有额外敏感度阈值；通过执行搜索功能而识别所述重复单元块内的第一关注区域的集合，以识别所述重复单元块内的所述第一受关注设计的额外出现；通过执行搜索功能而识别所述重复单元块内的额外关注区域的集合，以识别所述重复单元块内的所述额外受关注设计的额外出现；从所述检验工具接收样本的选定区域的一或多个图像；基于所述第一敏感度阈值而识别所述样本的所述选定区域的所述一或多个图像中的关注区域的所述第一集合内的一或多个缺陷；及基于所述额外敏感度阈值而识别所述样本的所述选定区域的所述一或多个图像中的关注区域的所述额外集合内的一或多个缺陷。