[发明专利]用于柔性衬底的微环境在审
| 申请号： | 201780015202.5 | 申请日： | 2017-02-09 |
| 公开（公告）号： | CN108886010A | 公开（公告）日： | 2018-11-23 |
| 发明（设计）人： | M·V·史密斯;G·M·加拉格尔;B·格雷格森;M·A·富勒;M·L·约翰逊 | 申请（专利权）人： | 恩特格里斯公司 |
| 主分类号： | H01L21/673 | 分类号： | H01L21/673 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 顾晨昕 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种衬底容器(1100)，其包含界定开口的壳(1105)及用于选择性地密封所述开口的门(1505)。悬臂式支撑托架(1120)支撑所述壳(1105)内的衬底(1115)。所述支撑托架(1120)包含支撑轴环(1300)，其用于将所述支撑托架(1120)耦合到支撑柱(1215)，使得所述支撑托架(1120)从所述支撑柱(1215)悬吊。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑托架 支撑柱 衬底 开口 悬臂式支撑 衬底容器 支撑轴环 微环境 耦合到 界定 托架 悬吊 密封 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种衬底容器，其包括：壳，其界定开口；门，其经配置以选择性地密封所述开口；及悬臂式支撑托架，其经配置以支撑所述壳内的柔性衬底。
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