[发明专利]闭合装置、具有闭合装置的真空系统和操作闭合装置的方法有效
| 申请号： | 201780015220.3 | 申请日： | 2017-06-08 |
| 公开（公告）号： | CN109392303B | 公开（公告）日： | 2020-09-15 |
| 发明（设计）人： | U·奥尔登多夫;C·克莱森 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | F16K37/00 | 分类号： | F16K37/00;F16K51/02;F16K3/18;F16K3/316 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种闭合装置(100,200)，特别是用于闭合真空腔室的开口。闭合装置包括：凸缘(110)，设于真空腔室并包括开口(112)；阻挡装置(120,220)，经构造以闭合开口(112)；第一磁性装置(130)，经构造以在凸缘(110)与阻挡装置(120)之间产生磁性闭合力，用于将阻挡装置的至少一部分从打开位置(I)传送至闭合位置(II)；和磁悬浮系统(150)，经构造以在平行于凸缘(110)的第一方向(T)中沿着引导结构非接触地传送阻挡装置(120)，其中磁悬浮系统包括第二磁性装置(160)，经构造以在第二方向(X)中稳定阻挡装置(120)，第二方向(X)横向于第一方向(T)。 | ||
| 搜索关键词： | 闭合 装置 具有 真空 系统 操作 方法 | ||
【主权项】：
1.一种闭合装置(100,200)，包括：凸缘(110)，设于真空腔室(101)并包括开口(112)；阻挡装置(120,220)，经构造以闭合所述开口(112)；第一磁性装置(130)，经构造以在所述凸缘(110)与所述阻挡装置(120)之间产生磁性闭合力，用于将所述阻挡装置或所述阻挡装置的一部分从打开位置(I)传送至闭合位置(II)；和磁悬浮系统(150)，经构造以在平行于所述凸缘(110)的第一方向(T)中沿着引导结构非接触地传送所述阻挡装置(120)，其中所述磁悬浮系统包括第二磁性装置(160)，经构造以在第二方向(X)中稳定所述阻挡装置(120)，所述第二方向(X)横向于所述第一方向(T)。
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