[发明专利]激光照射装置及激光照射方法

摘要

激光加工装置具备有激光光源、具有显示部的空间光调制器、物镜、转像光学系统、摄像机以及控制部。控制部执行第1显示处理和第2显示处理。第1显示处理是在用摄像机对图像进行摄像时，使显示部显示将由物镜聚光的激光的聚光位置作为第1聚光位置的第1相位图案。第2显示处理是在用摄像机对前述图像进行摄像时，使显示部显示将由物镜所聚光的激光的聚光位置作为在激光的照射方向上与第1聚光位置不同的第2聚光位置的第2相位图案。

主权项

1.一种激光照射装置，其为对包含反射面的对象物照射激光的激光照射装置，其特征为，具备：激光光源，其产生所述激光；空间光调制器，其具有显示相位图案的显示部，并使由所述激光光源所产生的所述激光入射至所述显示部中，将该激光根据所述相位图案来调制并从所述显示部出射；物镜，其将由所述空间光调制器所出射的所述激光聚光于所述对象物；转像光学系统，其将在所述空间光调制器的所述显示部中的所述激光的像转像至所述物镜的入射瞳面；摄像机，其对包含被照射于所述对象物并被所述反射面所反射了的所述激光的反射光的点像的图像进行拍摄；和控制部，其至少对显示在所述显示部的所述相位图案进行控制，并且所述控制部执行下述处理：第1显示处理，在由所述摄像机对所述图像进行拍摄时，使所述显示部显示第1相位图案，该第1相位图案将由所述物镜聚光的所述激光的聚光位置作为第1聚光位置；和第2显示处理，在由所述摄像机对所述图像进行拍摄时，使所述显示部显示第2相位图案，该第2相位图案将由所述物镜聚光的所述激光的聚光位置作为第2聚光位置，该第2聚光位置与所述第1聚光位置在所述激光的照射方向上不同。