[发明专利]可动工作台冷却装置及可动工作台冷却系统

摘要

本发明提供一种适合冷却在真空容器内保持物体的可动工作台的冷却装置。冷却装置(10)具备压缩机(16)、冷头(18)及循环冷却装置(14)。压缩机(16)共用于冷头(18)和循环冷却装置(14)。循环冷却装置(14)具备：低温气体循环管路(22)，其与冷头(18)的冷却部18d热连接；及室温气体循环管路(24)，其配设成未与冷头(18)的冷却部(18d)热连接。

主权项

1.一种可动工作台冷却装置，其冷却在真空容器内保持物体的可动工作台，所述可动工作台冷却装置的特征在于，具备：压缩机；冷头，其固定于所述真空容器并且具备配置于所述真空容器内的冷却部；制冷机气体供给管路，其具备分支部并且从所述压缩机向所述冷头供给制冷剂气体；制冷机气体排出管路，其具备合流部并且从所述冷头向所述压缩机排出制冷剂气体；第1气体流入管路，其在所述分支部从所述制冷机气体供给管路分支并连接于第1可动工作台流路以使制冷剂气体从所述压缩机流入所述可动工作台，并且所述第1气体流入管路具备与所述冷却部热连接的换热部；第1气体流出管路，其连接于所述第1可动工作台流路并在所述合流部与所述制冷机气体排出管路合流以使制冷剂气体从所述可动工作台流出至所述压缩机；第2气体流入管路，其在所述分支部从所述制冷机气体供给管路分支并连接于第2可动工作台流路以使制冷剂气体从所述压缩机流入所述可动工作台，并且所述第2气体流入管路配设成未与所述冷却部热连接；及第2气体流出管路，其连接于所述第2可动工作台流路并在所述合流部与所述制冷机气体排出管路合流以使制冷剂气体从所述可动工作台流出至所述压缩机。