[发明专利]使用用于样本位置的辅助图像检测器的成像系统有效
| 申请号： | 201780018167.2 | 申请日： | 2017-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN108780218B | 公开（公告）日： | 2021-05-25 |
| 发明（设计）人： | 马修·陈;阿夫鲁·I·科恩 | 申请（专利权）人： | 分子装置有限公司 |
| 主分类号： | G02B21/00 | 分类号： | G02B21/00;G02B21/36 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 顾丽波;李荣胜 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 使用用于样本位置的辅助图像检测器的成像系统和方法。示例性系统可包括：光源，其在照射轴上照射样本；第一图像检测器，其在倾斜于照射轴的光轴上；和载物台。系统还可包括第二图像检测器，其设置在成像轴上；驱动机构，其被配置成将载物台和成像轴相对彼此移动。系统可进一步包括处理器，其被配置成(a)接收通过第一图像检测器检测到的样本的图像，(b)确定通过图像内的样本产生的对比区域的物理位置，和(c)基于物理位置发送信号至驱动机构以将样本的至少一部分设置在第二图像检测器的视场中。 | ||
| 搜索关键词： | 使用 用于 样本 位置 辅助 图像 检测器 成像 系统 | ||
【主权项】：
1.一种成像系统，包括：光源，其在照射轴上照射样本；第一图像检测器，其安装在倾斜于所述照射轴的光轴上以从被照射的样本接收光；载物台，其支持所述样本；第二图像检测器，其设置在成像轴上；驱动机构，其被配置成将所述载物台和所述成像轴相对彼此移动；以及处理器，其被配置成(a)接收通过所述第一图像检测器检测到的所述样本的图像，(b)确定通过所述图像内的所述样本产生的对比区域的物理位置，和(c)基于所述物理位置发送信号至所述驱动机构，以将所述样本的至少一部分设置在所述第二图像检测器的视场中。
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