[发明专利]叠加方差稳定化方法及系统有效
| 申请号： | 201780021326.4 | 申请日： | 2017-01-26 |
| 公开（公告）号： | CN108885407B | 公开（公告）日： | 2020-12-08 |
| 发明（设计）人： | H·浩;W·皮尔逊;J·纳贝特;S·全;O·N·德米雷尔;M·加西亚-梅迪纳;S·乌巴拉 | 申请（专利权）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 11287 | 代理人： | 张世俊 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提供用于提供叠加校正的方法及系统。一种方法可包含：选择经配置以对晶片执行叠加建模的叠加模型；从所述叠加模型获得第一组经建模结果，所述第一组经建模结果指示适用于所述叠加模型的多个项系数的调整；计算指示所述多个项系数的有效性的有效性矩阵；基于所述经计算有效性矩阵而识别所述多个项系数当中的至少一个较低有效项系数；从所述叠加模型获得第二组经建模结果，所述第二组经建模结果指示适用于除所述经识别至少一个较低有效项系数之外的所述多个项系数的调整；及提供所述第二组经建模结果以促进叠加校正。 | ||
| 搜索关键词： | 叠加 方差 稳定 方法 系统 | ||
【主权项】：
1.一种方法，其包括：选择经配置以对晶片执行叠加建模的叠加模型；从所述叠加模型获得第一组经建模结果，所述第一组经建模结果指示适用于所述叠加模型的多个项系数的调整；计算指示所述多个项系数的有效性的有效性矩阵；基于所述经计算有效性矩阵而识别所述多个项系数当中的至少一个较低有效项系数；从所述叠加模型获得第二组经建模结果，所述第二组经建模结果指示适用于除所述经识别至少一个较低有效项系数之外的所述多个项系数的调整；及提供所述第二组经建模结果以促进叠加校正。
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