[发明专利]抗蚀剂的剥离液在审
| 申请号： | 201780026501.9 | 申请日： | 2017-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN109074005A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 庄野浩己;新城沙耶加 | 申请（专利权）人： | 株式会社杰希优 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 张玉玲 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供一种抗蚀剂的剥离液，其特征为：含有季铵盐、与链烷醇胺和脂肪族胺，利用这种抗蚀剂的剥离液，即使经过长期使用而有碳酸溶解，其性能也难以降低。 | ||
| 搜索关键词： | 剥离液 抗蚀剂 链烷醇胺 脂肪族胺 季铵盐 碳酸 溶解 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂的剥离液，其特征在于，含有季铵盐、与链烷醇胺和脂肪族胺。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社杰希优，未经株式会社杰希优许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780026501.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
