[发明专利]金属蒸发材料有效
| 申请号： | 201780027018.2 | 申请日： | 2017-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN109072413B | 公开（公告）日： | 2020-07-14 |
| 发明（设计）人： | 仓内利春 | 申请（专利权）人： | 株式会社爱发科 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C22C5/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 郭煜;杨戬 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供能够在不降低薄膜的纯度的情况下防止飞溅物产生的金属蒸发材料。金属蒸发材料，其具有以金属作为母材的金属材料、和添加金属，添加金属具有在700℃以上的温度下蒸气压低于相同温度的母材的蒸气压的1/10000的金属低蒸气压性、和与由高熔点金属容器释放的气体反应而生成反应产物的反应性，该反应产物具有在700℃以上的温度下蒸气压低于相同温度的母材的蒸气压的1/10000的产物低蒸气压性。金属蒸发材料中含有的气体与添加金属反应而被去除，因此防止了突沸，金属蒸发材料蒸气中的添加金属的蒸气与反应产物的蒸气的含量低于1/10000，因此通过蒸镀而形成的薄膜的纯度不会降低。 | ||
| 搜索关键词： | 金属 蒸发 材料 | ||
【主权项】：
1.金属蒸发材料，其具有以规定的一种或多种金属作为母材的金属材料、和向所述金属材料中添加的添加金属，其特征在于，所述添加金属具有：在700℃以上的温度下蒸气压低于相同温度的所述母材的蒸气压的1/10000的金属低蒸气压性、和与所述金属蒸发材料中含有的气体反应而生成反应产物的反应性，所述反应产物具有在700℃以上的温度下蒸气压低于相同温度的所述母材的蒸气压的1/10000的产物低蒸气压性。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于株式会社爱发科，未经株式会社爱发科许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780027018.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
