[发明专利]用于改进的基板运送组件的系统、设备及方法在审
| 申请号： | 201780027277.5 | 申请日： | 2017-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN109075115A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | E·维拉兹克兹 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/677;H01L21/687 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 杨学春;侯颖媖 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明的实施例提供了用于改进的基板运送组件的系统、设备及方法。实施例包括一对致动臂；一对基板撷取尖端，每个撷取尖端形成在每个致动臂的不同远端中；致动器，该致动器耦合到致动臂的近端并且可经操作以致动该致动臂；以及硬停器(hard stop)，该硬停器经定位以防止致动器使致动臂关闭超过预定量，使得在关闭位置中，致动臂不接触经定位以被基板运送组件拾取的基板。在此公开许多额外方面。 | ||
| 搜索关键词： | 致动臂 基板运送 致动器 基板 停器 撷取 不接触 耦合到 近端 拾取 远端 改进 | ||
【主权项】：
1.一种基板运送组件，包括：一对致动臂；一对基板撷取尖端，每个撷取尖端形成在每个致动臂的不同远端中；致动器，所述致动器耦合到所述致动臂的近端并且可经操作以致动所述致动臂；及硬停器，所述硬停器经定位以防止所述致动器使所述致动臂关闭超过预定量，使得在关闭位置中，所述致动臂不接触经定位以被所述基板运送组件拾取的基板。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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