[发明专利]线锯装置及工件的切断方法有效
| 申请号： | 201780027731.7 | 申请日： | 2017-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN109153104B | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 宇佐美佳宏 | 申请（专利权）人： | 信越半导体株式会社 |
| 主分类号： | B24B27/06 | 分类号： | B24B27/06;B24B49/10;B28D5/04;H01L21/304 |
| 代理公司： | 北京京万通知识产权代理有限公司 11440 | 代理人： | 许天易 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明为一种线锯装置，包含：伸出钢线的钢线供给轴盘、通过螺旋状缠绕于多个钢线导线器的周围的钢线而形成的钢线列、卷收钢线的钢线卷收轴盘、以及将切断目标的工件予以支承的工件支承部，此外于将被工件支承部所支承的工件予以推压至以至少重复前进后退1次以上而行进的钢线列进行切断加工，其中该线锯装置具备装设于工件支承部的振动传感器，以及检测钢线张力的荷重元。由此提供能透过于工件的切断之前判断发生钢线过紧或线锯装置异常振动的状态，而防止自工件切出的晶圆质量恶化的线锯装置及工件的切断方法。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 工件 切断 方法 | ||
【主权项】：
1.一种线锯装置，包含：伸出钢线的钢线供给轴盘、通过螺旋状缠绕于多个钢线导线器的周围的该钢线而形成的钢线列、卷收该钢线的钢线卷收轴盘、以及将切断目标的工件予以支承的工件支承部，该线锯装置将被该工件支承部所支承的该工件予以推压至以至少重复前进后退1次以上而行进的该钢线列而进行切断加工，其中该线锯装置具备装设于该工件支承部的振动传感器、以及检测该钢线张力的荷重元。
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