[发明专利]旋转台用晶片保持机构及方法和晶片旋转保持装置

摘要

本发明提供一种旋转台用晶片保持机构及方法和晶片旋转保持装置，能够在旋转处理中在维持晶片的姿态的状态下改变晶片的保持位置，减轻由蚀刻造成的外周销的痕迹，减少清洗残留、清洗不均。具有：旋转台，在上表面保持晶片；和可动的多个外周可动销，设置在旋转台且用于对晶片的外周进行保持，该多个外周可动销包含多个第一外周可动销、和晶片的保持位置与该第一外周可动销不同的多个第二外周可动销，在晶片的处理中，通过替换由第一外周可动销和第二外周可动销进行的晶片的保持，从而改变晶片的保持位置。

主权项

1.一种旋转台用晶片保持机构，是晶片旋转保持装置的旋转台用晶片保持机构，其特征在于，具有：旋转轴；旋转台，载置在所述旋转轴的前端且在上表面保持晶片；驱动马达，向所述旋转轴供给动力；和可动的多个外周可动销，设置在所述旋转台且用于对晶片的外周进行保持，所述多个外周可动销由多个第一外周可动销、和晶片的保持位置与所述多个第一外周可动销不同的多个第二外周可动销构成，在所述第一外周可动销保持所述晶片的保持状态的期间，所述第二外周可动销使晶片处于非保持状态，在所述第二外周可动销保持所述晶片的保持状态的期间，所述第一外周可动销使晶片处于非保持状态，在所述晶片的处理中，通过替换由所述第一外周可动销和所述第二外周可动销进行的保持，从而改变所述晶片的保持位置。