[发明专利]基于贯穿波长的相似性的度量强健性有效
| 申请号： | 201780031049.5 | 申请日： | 2017-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN109154786B | 公开（公告）日： | 2020-12-04 |
| 发明（设计）人： | M·加西亚·格兰达;C·M·里维斯;F·斯塔尔斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | G03F9/00 | 分类号： | G03F9/00;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华;张宁 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种方法，包括通过使用衬底测量方案从衬底上目标获得测量结果；由硬件计算机系统根据测量结果确定参数，其中对于衬底测量方案中所使用的入射辐射，参数表征测量结果对于目标的光程长度的依赖性，以及确定参数包括确定测量结果对于入射辐射的波长的相对变化的依赖性；以及如果参数不在指定范围内，则调节衬底测量方案。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 贯穿 波长 相似性 度量 强健 | ||
【主权项】：
1.一种方法，包括：通过使用衬底测量方案，从衬底上的目标获得测量结果；由硬件计算机系统根据所述测量结果确定参数，其中对于根据所述衬底测量方案所使用的入射辐射，所述参数表征所述测量结果对于所述目标的光程长度的依赖性，以及确定所述参数包括确定所述测量结果对于所述入射辐射的波长的相对变化的依赖性；以及如果所述参数并未在指定的范围内，则调节所述衬底测量方案。
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