[发明专利]从晶片移除光刻胶的液体过滤

摘要

在用于从晶片移除光刻胶膜的系统和方法中，晶片移动至处理罐中的处理液体的浴中。处理液体从晶片移除光刻胶膜。处理液体从处理罐被泵送至过滤组件，并且移动通过过滤介质以从处理液体过滤出固体，并且经过滤的处理液体返回至处理罐。刮削器刮削过滤介质，以避免积聚的固体堵塞过滤介质。

主权项

1.一种用于从晶片移除光刻胶的方法，包含以下步骤：将具有光刻胶膜的晶片移动至处理罐中的处理液体的浴中，其中以所述处理液体从所述晶片移除所述光刻胶膜，并且一些被移除的所述光刻胶膜包含固体；将处理液体从所述处理罐泵送至具有过滤介质的过滤组件；将所述处理液体移动通过所述过滤介质，以所述过滤介质从所述处理液体过滤出所述固体；将经过滤的所述处理液体返回至所述处理罐；刮削所述过滤介质，以将被过滤出的所述固体移动至在所述过滤组件中的收集器；从所述收集器移除被过滤出的所述固体；和从所述处理罐移除所述晶片。