[发明专利]具有集成静电放电抑制的流体回路

摘要

本发明揭示一种界定供流体从流体供应器(152)朝向过程阶段(156)的流径的流体回路(160)。所述流体回路可包含多个操作组件(168)，其包含主体部分(182)及多个导管连接器配件(186)。所述操作组件可由多个导管段(164)连接。每一主体部分可包含非导电氟聚合物部分及外导体(234)，所述外导体延伸于所述多个导管连接器配件中的每一者之间且与所述非导电氟聚合物部分成一体。所述多个导管段可包含非导电氟聚合物导管部分(187)及导电聚合物轴向带(188)。每一主体部分的所述外导体与连接到其的导管段导电地连接。所述连接器中的每一者可包含桥接组件(262)，所述桥接组件用于将所述主体部分的所述相应外导体导电地连接到所述连接导管段的所述导电聚合物带。

主权项

1.一种界定供流体从流体供应器朝向过程阶段的流径的流体回路，所述流体回路包括：多个操作组件，每一操作组件包括具有贯穿其间的流体流动通道的主体部分及多个导管连接器配件，所述操作组件由在其相应导管连接器配件处连接到所述组件的多个导管段连接，所述多个导管段及操作组件提供通过所述流体回路的所述流径；其中每一主体部分包括非导电氟聚合物部分，所述非导电氟聚合物部分界定所述流体通道且延伸到所述相应多个导管连接器配件中的每一者的末端，每一主体部分进一步包括外导体，所述外导体延伸于所述多个导管连接器配件中的每一者之间且与所述非导电氟聚合物部分成一体，所述多个导管段各自包括非导电氟聚合物导管部分及在所述非导电氟聚合物导管部分上轴向延伸且与其成一体的导电聚合物带；其中所述连接器中的每一者具有桥接组件，所述桥接组件用于将所述主体部分的所述相应外导体导电地连接到所述导管部分的所述导电聚合物带，所述导管部分连接到所述连接器。