[发明专利]原子层生长装置及原子层生长方法

摘要

一种原子层生长装置，具有：成膜容器(11)，其进行成膜处理；能够上下移动的载物台(14)，其设置在成膜容器(11)内，并保持基板(100)；载物台停止器(17)，其使载物台(14)的上升停止，并通过与载物台(14)的接触而划分出进行上述成膜处理的成膜空间(S)和进行基板(100)的搬送的搬送空间；周边部载物台防附着材料(15)，其覆盖载物台(14)的周边部；载物台停止器防附着材料(24)，其设置在载物台停止器(17)上。

主权项

1.一种原子层生长装置，其特征在于，具有：成膜容器，其对基板进行成膜处理；载物台，其能够上下移动且设置在所述成膜容器内，并保持所述基板；载物台停止器，其使所述载物台的上升停止，并通过与所述载物台的接触而划分出进行所述成膜处理的成膜空间和进行所述基板的搬送的搬送空间；第一载物台防附着材料，其覆盖所述载物台的周边部；载物台停止器防附着材料，其设置在所述载物台停止器上。