[发明专利]用于微装置的传送的系统和方法有效
| 申请号： | 201780037396.9 | 申请日： | 2017-06-15 |
| 公开（公告）号： | CN109314106B | 公开（公告）日： | 2022-08-02 |
| 发明（设计）人： | 朱明伟;斯瓦帕基亚·甘纳塔皮亚潘;付博义;胡·T·额;奈格·B·帕蒂班德拉 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01L25/075 | 分类号： | H01L25/075;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 一种用于在基板上定位微装置的设备包括：一个或更多个支撑件，所述一个或更多个支撑件用于保持供体基板和目标基板；粘合剂分配器，所述粘合剂分配器用于输送粘合剂于供体基板上的微装置上；传送装置，所述传送装置包括传送表面以从供体基板传送微装置至目标基板；和控制器。控制器被配置为操作粘合剂分配器，以基于目标基板上的选择的微装置的所需间隔，选择性地分配粘合剂至供体基板上的所选择的微装置上。控制器被配置为操作传送装置，使得传送表面在供体基板上接合粘合剂，造成所选择的微装置粘附至传送表面，且接着传送表面从供体基板传送所选择的微装置至目标基板。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 装置 传送 系统 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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